泄漏率 qL (mbar ·l · s–1)

根據(jù)上述定義，可以很容易地理解氣體泄漏量（氣體泄漏是指經(jīng)由通道或“管道”發(fā)生的不應(yīng)該的氣體移動(dòng)）也將以 mbar · l · s–1 作為表示單位。泄漏率通常是通過屏障一側(cè)的大氣壓和另一側(cè)的真空度 (p < 1 mbar) 來測量或表示。如果氦氣（該氣體可用作示蹤氣體等）在這些條件下通過泄漏穿過屏障，則稱之為“標(biāo)準(zhǔn)氦氣狀況”，有關(guān)更多信息，請參閱檢漏部分。

出氣 (mbar · l)

術(shù)語“出氣”是指氣體和蒸汽從真空室壁或真空系統(tǒng)內(nèi)部的其他組件中釋放的現(xiàn)象。該氣體量還以 p · V 的乘積來表征，其中 V 指氣體釋放至的容器的體積，p 或 Δp（最好使用后者表示）是指氣體進(jìn)入該體積所導(dǎo)致的壓力增加。 

出氣率 (mbar · l · s–1)

這是指一段時(shí)間內(nèi)的出氣量，以 mbar · l · s–1 為表示單位。

出氣率 (mbar · l · s–1 · cm–2)（相對于表面積）為了估計(jì)需要抽取的氣體量，了解內(nèi)部表面積的大小、材料和表面特性、相對于表面積的出氣率及其隨時(shí)間推移的變化情況非常重要。 

分子的平均自由程 λ (cm) 和碰撞速率 z (s-1)

 根據(jù)“氣體由大量的不同顆粒構(gòu)成，這些顆粒之間除了碰撞之外，相互不存在其他有效作用力”這一概念，人們進(jìn)行了一系列的理論研究，如今這些研究均被納入了“氣體動(dòng)理論”的范疇。 

該理論得出的第一個(gè)也是最有用的結(jié)果之一就是能夠利用氣體密度、各種氣體分子平均速度的平方 c2 以及分子質(zhì)量 mT 來計(jì)算氣體壓力 p： 

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(1.14)

式中 

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(1.15)

氣體分子會(huì)以各種可能的速度在相互之間飛行，并碰撞容器壁以及相互之間發(fā)生碰撞（彈性碰撞）。在氣體動(dòng)理論的幫助下，人們對氣體分子的這種運(yùn)動(dòng)進(jìn)行了量化描述。一個(gè)分子在給定時(shí)間段內(nèi)的平均碰撞次數(shù)被稱為碰撞指數(shù) z，每個(gè)氣體分子在與其他分子發(fā)生碰撞之間所飛行的平均路徑距離被稱為平均自由程長度 λ，該值可通過下式表示，由分子的平均速度 c、分子直徑 2r 以及分子的顆粒數(shù)密度 n 進(jìn)行描述 - 該公式可得出非常準(zhǔn)確的近似值：

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式中

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(1.16)

以及 

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(1.18)

因此，根據(jù)方程 (1.1)，顆粒數(shù)密度 n 的平均自由程長度 λ 與壓力 p 成反比。因此，在恒定溫度 T 下，每種氣體都會(huì)遵循以下關(guān)系 

λ ? p = const (1.19)  

(1.19)

λ ? p = const (1.19) 

表 3 和圖 9.1 用于計(jì)算各種氣體在任意壓力下的平均自由程長度 λ。表 4 則匯總了對真空技術(shù)最為重要的一些氣體分子運(yùn)動(dòng)方程式。 

                 圖 9.1 各種氣體的平均自由程 λ (cm) 隨壓力的變化

表 3 使用平均自由程 λ 的乘積 c* 計(jì)算出的平均自由程 I 值

（以及 68°F 或 20°C 下各種氣體的壓力 p）（另見圖 9.1）

表 4 氣體運(yùn)動(dòng)理論重要公式匯總表

碰撞速率 zA(cm–2 ? s–1) 和單層形成時(shí)間 τ (s)

在高真空狀態(tài)下，常用的壓力狀態(tài)表征方法為計(jì)算在無氣體的表面上形成單分子或單原子層所需的時(shí)間，并假設(shè)每個(gè)分子都會(huì)粘附到該表面上。這種單層形成時(shí)間與碰撞速率 zA 密切相關(guān)。氣體靜止時(shí)，碰撞速率會(huì)指示單位時(shí)間和表面積上與真空容器內(nèi)表面發(fā)生碰撞的分子數(shù)量：

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(1.20)

如果 a 表示每個(gè)單位表面積上可以容納特定氣體的間隙數(shù)，則單層形成時(shí)間為

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(1.21)

碰撞頻率 zv (cm–3 · s–1)

此為碰撞速率 z 和粒子數(shù)密度 n 的一半的乘積，因?yàn)閮蓚€(gè)分子的相互碰撞只計(jì)為一次碰撞： 

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(1.21a)